真空技术

真空技术是建立低于大气压力的物理环境，以及在此环境中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术。
真空获得
真空测量
真空检漏
真空应用
在真空技术发展中，这四个方面的技术是相互促进的。
 

 粗真空 1×105 to 1×102 Pa
 低真空 1×102 to 1×10-1 Pa
 高真空 1×10-1 to 1×10-6 Pa
 超高真空  <1×10-6 Pa



真空应用

粗低真空
食品行业
化工行业
冷冻干燥
轻工行业
制药行业
导电(真空放电灯具)

高真空
冶炼
真空热处理、真空焊接
集成电路、半导体制造
各种镀膜工艺
各种表面加工工艺
化学研究
离子注入
隔离作用（绝热）

超高真空
空间模拟
材料科学分析
物理现象研究
表面分析
高纯材料制备(如：MBE)

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